市场监管总局批准发布85项国家标准物质支撑“双碳”和精密制造

(资料图片)

记者今天了解到，今年1到11月，市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业发展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力支撑。

在服务“双碳”工作方面，批准发布空气中二氧化碳气体、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合气体等72项碳计量国家标准物质。碳计量标准物质用来校准常用的碳检测设备，如碳组分分析仪、红外气体分析仪等，确保仪器测量精度，也可用来标定现场碳监测设备，如环境空气质量自动监测站、工业废气排放监测仪等，确保现场数据真实有效。新批准发布的72项碳计量标准物质，79.2%由企业研制生产。

在服务精密制造产业发展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。

在半导体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯净度和性能。

在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。

新批准发布的13项电子气体国家标准物质中，93%的研制单位位于华东、华北地区，呈现出与产业集群协同发展的新趋势。

标签： 物质 气体 国家标准 制造